長行程線性位移臺：超安靜運動 ·納米級分辨率斷電位置自保持內(nèi)置高精度光學位置傳感器 ·多種行程規(guī)格

產(chǎn)品型號：Indus系列

更新時間：2026-03-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：56

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產(chǎn)品分類Product Categories

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產(chǎn)品概述

“Indus系列" 線性位移臺 — L050.Indus ~ L150.Indus

產(chǎn)品特色

· 超安靜運動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 多種行程規(guī)格

· 內(nèi)置高精度光學位置傳感器
產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品參數(shù)

序號	產(chǎn)品參數(shù)	L050.Indus	L100.Indus	L150.Indus
1	可選版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本
2	外形尺寸	90 × 24 × 14 mm	180 × 24 × 14 mm	250 × 36 × 16.5 mm
3	主體材料	標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷	標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷	標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷
4	質(zhì)量（標準版）	174 g	388 g	840 g
5	運動行程	50 mm	100 mm	150 mm
6	安裝空間	140 × 24 × 14 mm	280 × 24 × 14 mm	400 × 36 × 16.5 mm
7	速度范圍	默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
8	驅(qū)動力	2 N	2 N	2 N
9	保持力	3 N	3 N	3 N
10	水平方向使用*大負載	1 kg	2 kg	3 kg
11	雙向重復(fù)定位精度	± 150 nm	± 150 nm	± 150 nm
12	全行程俯仰 / 偏擺	0.2 mrad	0.2 mrad	0.2 mrad
13	最小步伐（閉環(huán)）	5 nm	5 nm	5 nm
14	位置傳感器類型	光學位置傳感器	光學位置傳感器	光學位置傳感器
15	位置傳感器分辨率	2 nm	2 nm	2 nm
16	線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)	默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)	默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)
17	控制器規(guī)格	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列

“Indus系列"線性位移臺 — LS200.Indus