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產(chǎn)品簡介
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六自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free6D.3-2.070
產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 高剛性系統(tǒng)
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全無磁版本； |
2 | 外形尺寸 | ?70 × 65 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：400 g；,NM 純鈦，陶瓷：600 g |
4 | *大垂直負(fù)載 | 300 g |
5 | 運(yùn)動行程 X，Y，Z | ± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm |
6 | 運(yùn)動行程 θX，θY ，θZ * | ± 16 °,± 13 °,± 26 ° |
7 | 單向重復(fù)精度 X，Y，Z * | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
8 | 單向重復(fù)精度θX，θY，θZ | ± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad |
9 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
10 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
11 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
12 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
13 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器規(guī)格 | MC-Free6D |
六自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free6D.3-2.150
產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 高剛性系統(tǒng)
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全無磁版本； |
2 | 外形尺寸 | ?150 × 90 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：1.4 kg；,NM 純鈦，陶瓷：2.1 kg |
4 | *大垂直負(fù)載 | 1 kg |
5 | 中空孔徑 | ?40 mm |
6 | 運(yùn)動行程 X，Y，Z * | ± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm |
7 | 運(yùn)動行程 θX，θY ，θZ * | ± 9 °,± 8 °,± 14 ° |
8 | 單向重復(fù)精度 X，Y，Z | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
9 | 單向重復(fù)精度 θX，θY，θZ | ± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad |
10 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
11 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
12 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
13 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
14 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
15 | 控制器規(guī)格 | MC-Free6D |
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